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真空镀膜系统生产厂家推荐「多图」
2021-06-18






真空镀膜机

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。 基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。 对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且终沉积在基片表面,经历成膜过程,终形成薄膜。

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多功能真空镀膜机

真空镀膜机工作时,需要先抽真空,使真空室处于真空状态,再进行镀膜;镀膜完成后,需要向真空室充气。3、磁控、热蒸发多种镀膜方式可选4、可集成手套箱系统5、可集成多种自动化应用想了解更多产品信息,您可拨打图片上的电话咨询。现有技术中,真空镀膜机的充气管道直接与外界连通,容易把外界空气中的灰尘带入真空室,导致镜片上吸附灰尘,造成产品不良真空蒸渡金属薄膜是在高真空条件下,以电阻、高频或电子加热使金属熔融气化,在薄膜基材的表面附着而形成复合薄膜,其中被镀金属材料用的1多的是铝,在塑料薄膜或纸张表面镀上一层极薄的金属铝即成为镀铝薄或镀铝纸,在镀铝薄膜生产过程中对于真空条件是有严格限定的,真空度过高或过低都会影响镀膜的性能,目前,工厂里使用的镀膜机对于真空度的控制并不是很稳定,导致生产过程中产品的性能不够稳定,因此,解决生产过程中镀膜机里的真空度不易控制的问题尤为重要,而且内部镀膜物件的温度高,需要及时降温,提高工作效率。

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真空镀膜设备真空泵的选择

真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。

真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。


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